上海微電子裝備（集團）股份有限公司成立于2002-03-07，注冊地址位于中國（上海）自由貿易試驗區(qū)張東路1525號，法定代表人為干頻。經營范圍：半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設計、制造、銷售及技術服務，經營本企業(yè)自產產品的出口業(yè)務和本企業(yè)所需的機械設備、零配件、原輔材料的進口業(yè)務（但國家限定公司經營或禁止進出口的商品及技術除外）?！疽婪毥浥鷾实捻椖?，經相關部門批準后方可開展經營